1、第一种，干涉显微镜测量方法。由于光波可以有效的被利用，并在其干涉原理之下，此时就可以将光波波长做为一种测量标准进行测试。若被测量的表面拥有一些凹凸不平的现象，就相对说明，其粗糙程度较大。
2、第二种方法，利用光切显微镜进行测量。这种光切显微镜也称之为双管显微镜，它主要是利用光切原理进行一步一步的测量
3、首先便是要从目镜之中观察整个物体的表面，其粗糙程度是否良好。第二步，利用微测装置可以有效将其铸铁平板的RZ值准确的测量而出。另外，也可以测量得出，其物体本身的轮廓图像。
4、然后就可以轻松的将其它数值测量而出。但是目前这种方法较为复杂，从而有关专业人员不太常用，只有有所必要之时，才会采取此种操作方法，从而获取更为重要的数据，以此达到自己的目的。
