1、1)预处理由于预处理后的水将通过反渗透进行再一步的净化，所以一定要尽量去除对反渗透膜有影响的杂质;主要包括大颗粒物质、余氯以及钙离子镁 离子。在此要说明的一点是必须要根据进水水质的差异针对性地配备不同的处理单元。多数纯水机生产厂家并不能很好帮助客户解决这个问题，这会导致后续的纯化 无法达到理想结果并缩短反渗透膜、超纯化柱等主要部件的寿命。
2、2)反渗透反渗透是使用一个高压泵对高浓度溶液提供比渗透压差大的压力，水分子将被迫通过半透膜到低浓度的一边，反渗透可以滤除90%-99% 的包括无机离子在内的绝大多数污染物，因为它出众的纯化效率，反渗透是水纯化系统的一个非常有效的技术，因为反渗透能去除大部分的污物，所以它经常被用作为前道处理手段，能显著地延长去离子交换柱的使用时间。
3、3)离子交换离子交换即是水中的正离子与离子交换树脂中的H 离子交换，水中的负离子与离子交换树脂上的OH-离子交换，从而达到纯化水的目的。
4、4)终端处理主要根据特殊要求生产出超低有机型、无菌型、无热源型等的超纯水。针对不同要求有多种处理方式，如超滤过滤法用于去除热源， 双波长紫外氧化法用于降低水中总有机碳(TOC)，微滤去除细菌等。
